英特尔SRH4U基模22FFL工艺aCMOS软件包

带有FINFET的逻辑微处理器芯片的高级CMOS Essentials（ACE）可交付成果包括一份简明的分析员总结文件，突出了观察到的关键尺寸和以下图像文件夹支持的显著特征：

• 下游产品拆卸
• 包装X射线、顶部金属和聚酯模具照片、模具特征的无创光学照片
• 通过逻辑区和SRAM的传输（TEM）和（SEM）斜面
• 一般器件结构、线后端（BEOL）（金属、电介质）和线前端（FEOL）结构的TEM和SEM横截面

TEM-EDS和EELS分析结果包含在ACE摘要文件中。ACE可交付成果提供了及时的竞争基准信息，并能够跨多个竞争对手对技术创新进行经济高效的跟踪。

• 两个TEM横截面，与晶体管栅指和鳍正交，显示较低的金属和电介质、晶体管栅（NMO和PMO）、鳍、隔离和其他FEOL特征。