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ame - 1804 - 803
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MIC-Z11B
设备制造商
美光科技
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记忆——NAND和DRAM
通道
内存,进程
报告的代码
ame - 1804 - 803
先进的内存必需品(AME)交付DRAM芯片包含一个简洁的分析师的总结文档强调观察临界尺寸和特征如下图支持文件夹:
- 包和x射线照片,金属和聚模具照片
- 通过内存数组和外围SEM斜角
- 扫描电镜截面沿着字线和位线的设备结构、金属、电介质和电容器
- 两三TEM横截面,这个词和正交线,并可能DRAM的积极方向数组,显示DRAM电容器阵列,降低金属和电介质,晶体管盖茨,隔离和其他FEOL特性