Hisilicon 710a Smic 14nm Finfet Acmos Essentials

带有FinFET的逻辑微处理器芯片的高级CMOS ESSECTOR（ACE）包含简明分析师的摘要文档，突出显示了观察到的关键维度和由以下图像文件夹支持的显着特征：

• 下游产品拆卸
• 包装X射线，顶部金属和Poly Die照片，无创的光学照片
• 通过逻辑区域和SRAM传输（TEM）和（SEM）斜角
• 通用设备结构的TEM和SEM横截面，线的后端（Beol）（金属，电介质）和线的前端（Feol）结构

ACE摘要文档中包括Tem-Eds和EELS分析的结果。ACE可交付款提供及时的竞争性基准测试信息，并可以在竞争对手广度上对技术创新进行成本效益的跟踪。

• 两个TEM横截面，分别与晶体管栅手指的正交和鳍，显示了下部金属和介电，晶体管门（NMOS和PMOS），鳍，隔离和其他Feol特征。