发布日期：2018年6月12日
英特尔10nm Logic Process Analysis
TechInsights发现了人们期待已久的Cannon Lake——联想IdeaPad330中使用的i3-8121U CPU内部的Intel 10纳米逻辑进程。
这种创新具有以下特点：
- Logic transistor density of 100.8 mega transistors per mm2，在14nm节点上增加10nm密度2.7X
- 采用第三代FinFET技术
- Minimum gate pitch of Intel’s 10 nm process shrinks from 70 nm to 54 nm
- 最小金属间距从52纳米缩小到36纳米
过程Highlights:
- 当前10nm和未来7nm技术的最深刻度间距
- 第一次共金属化和Ru在BEOL中的应用
- 新的接触和BEOL自对准图案化方案
设计亮点：
- 通过6.2轨道高密度库实现超尺度
- 有源门（COAG）单元级使用触点
